特許
J-GLOBAL ID：200903036020009454
金属の酸化方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-257328
公開番号（公開出願番号）：特開2000-087212
出願日： 1998年09月10日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：
【要約】【課題】 低い温度において乾式で緻密な酸化膜を形成する。【解決手段】 原料ガス源10からのCF4 は、水バブリングユニット16において水蒸気を添加されたのち、放電ユニット20に供給される。放電ユニット20は、CF4 と水蒸気との混合ガスを介した気体放電を発生し、両者を反応させてHF、COCF2 などの反応性フッ素系ガスを生成して処理室24に供給し、処理室24に配置されている金属28をフッ化する。所定時間金属28をフッ化したならば、弁26を閉じて処理室24へのフッ化用ガスの供給を停止する。その後、流量調整弁48を開いて蒸気発生部34にキャリアガス源46からキャリアガスを流入させ、蒸気発生部34において発生させた水蒸気をキャリアガスによって蒸気配管32を介して処理室24に供給し、処理室24を相対湿度100%の酸化雰囲気にする。これにより、水蒸気の酸素が金属28に取り込まれたフッ素と置換され、金属28を酸化する。
請求項（抜粋）：
大気圧またはその近傍の圧力下にある反応性のフッ素系ガスを金属に接触させてフッ化処理したのち、前記金属を酸化雰囲気中に配置することを特徴とする金属の酸化方法。
IPC (3件)：
C23C 8/10
, C23C 8/02
, C23C 8/08
C23C 8/10
, C23C 8/02
, C23C 8/08
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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