パターン形状検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-343083
公開番号（公開出願番号）：特開平9-184715
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】【課題】パターン形状の異常を迅速かつ確実に検知できるようにする。【解決手段】試料7の像を形成して表示装置37に表示し、試料上に形成されたパターン形状を検査する。観察領域に対応した参照用画像をディスク35に記憶し、観察時に参照用画像を読み出して試料像とともに表示装置37に表示する。

請求項（抜粋）：

試料像を形成して表示装置に表示し、試料上に形成されたパターン形状を検査するためのパターン形状検査装置において、観察領域に対応した参照用画像を記憶する手段と、観察時に前記参照用画像を前記試料像とともに前記表示装置に表示する手段とを備えることを特徴とするパターン形状検査装置。

IPC (5件)：

G01B 15/04 , G06T 7/00 , H01L 21/027 , H01L 21/66 , H01J 37/22 502

FI (5件)：

G01B 15/04 , H01L 21/66 J , H01J 37/22 502 A , G06F 15/70 455 B , H01L 21/30 502 V

引用特許：

審査官引用 (5件)

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