特許
J-GLOBAL ID：200903036201331480
基板の搬送塗布装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-052569
公開番号（公開出願番号）：特開2008-212804
出願日： 2007年03月02日
公開日（公表日）： 2008年09月18日
要約：
【課題】タクトタイムを大幅に短縮することができる基板の搬送塗布装置を提供する。【解決手段】搬送機構14のパッド14aで処理後の基板W1を保持し、搬送機構13のパッド13aで未処理の基板W2を保持した状態から、搬送機構13,14が図中右側に移動し、処理後の基板W1は受渡し位置へ、未処理の基板W2は塗布処理部S2へ浮上搬送する。次いで、塗布処理部S2で未処理の基板W2表面に塗布液を塗布している間に、搬送機構14はアライメント位置まで戻り、次の未処理の基板W3を保持する。次いで、搬送機構13は塗布処理が済んだ基板W2を基板搬出部S3に搬送し、搬送機構14は未処理の基板W3を塗布処理部S2の手間まで搬送する。この後、搬送機構13,14が図中右側に移動し、処理後の基板W2は受渡し位置へ、未処理の基板W3は塗布処理部S2へ浮上搬送する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板搬入部、塗布処理部及び基板搬出部が基板の搬送方向に沿って連続して配置された基板の搬送塗布装置において、この搬送塗布装置は、基板を浮上させるためのエア噴出孔を上面に形成したテーブルが前記基板搬入部、塗布処理部及び基板搬出部の全てに亘って配置され、また浮上した基板の一側のみを保持して搬送する搬送機構が前記テーブルの両側にそれぞれ独立して移動可能に配置され、各搬送機構は1枚の基板を前記基板搬入部、塗布処理部及び基板搬出部を通して他の搬送機構に受け渡すことなく連続して搬送することを特徴とする基板の搬送塗布装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042DF10
, 4F042DF15
