特許
J-GLOBAL ID:200903036203397763
感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-211447
公開番号(公開出願番号):特開2006-030765
出願日: 2004年07月20日
公開日(公表日): 2006年02月02日
要約:
【課題】 解像度、密着性、テント信頼性及びスカム性が優れる感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法を提供することにある。【解決手段】 本発明の感光性樹脂組成物は、(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなり、前記(B)成分が、下記一般式(I)で表される分子内に少なくとも3つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と分子内に少なくとも2つの重合可能なエチレン性不飽和結合、エチレングリコール鎖及びプロピレングリコール鎖を有する光重合性化合物とを含むことを特徴とする。【化1】(一般式(I)中、R1、R2及びR3は各々独立に水素原子又はメチル基を示し、l、m、及びnは各々独立に正の整数であり、l+m+nは3〜30である。)【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(B)成分が、下記一般式(I)で表される分子内に少なくとも3つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と分子内に少なくとも2つの重合可能なエチレン性不飽和結合、エチレングリコール鎖及びプロピレングリコール鎖を有する光重合性化合物とを含む感光性樹脂組成物。
IPC (7件):
G03F 7/027
, C08F 290/06
, G03F 7/004
, G03F 7/028
, G03F 7/033
, H05K 3/06
, H05K 3/18
FI (7件):
G03F7/027 502
, C08F290/06
, G03F7/004 512
, G03F7/028
, G03F7/033
, H05K3/06 J
, H05K3/18 D
Fターム (72件):
2H025AA02
, 2H025AA04
, 2H025AA14
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC42
, 2H025CA28
, 2H025CB16
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 4J127AA03
, 4J127BB031
, 4J127BB042
, 4J127BB052
, 4J127BB091
, 4J127BB092
, 4J127BB111
, 4J127BB112
, 4J127BB221
, 4J127BB222
, 4J127BC021
, 4J127BC052
, 4J127BC151
, 4J127BC152
, 4J127BC161
, 4J127BD221
, 4J127BD222
, 4J127BE34Y
, 4J127BE341
, 4J127BE342
, 4J127BF15X
, 4J127BF151
, 4J127BF18X
, 4J127BF181
, 4J127BF182
, 4J127BF19X
, 4J127BF191
, 4J127BF22X
, 4J127BF222
, 4J127BG02X
, 4J127BG022
, 4J127BG14X
, 4J127BG141
, 4J127BG142
, 4J127BG143
, 4J127CA01
, 4J127CB281
, 4J127CC031
, 4J127CC121
, 4J127CC131
, 4J127DA46
, 4J127EA12
, 4J127FA17
, 5E339BC02
, 5E339BD11
, 5E339BE13
, 5E339CC01
, 5E339CC02
, 5E339CD01
, 5E339CE11
, 5E339CE14
, 5E339CF16
, 5E339CF17
, 5E339CG04
, 5E339DD04
, 5E343CC63
, 5E343DD32
, 5E343ER16
, 5E343ER18
引用特許:
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