特許

J-GLOBAL ID：200903036212364860

赤外線固体撮像素子

発明者： 木股 雅章
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-139904
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332480
出願日： 1997年05月29日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 高感度の赤外線固体撮像素子を提供する。【解決手段】 熱型赤外線検出器を用いた2次元赤外線固体撮像素子において、熱型光検出器部は、半導体基板上に熱抵抗の大きな支持脚で支えられる。赤外線の入射による熱型検出器部の温度変化は、熱型検出器部から支持脚内の配線を通して検出される。ここで、少なくとも1本の支持脚内に複数の配線が積層または平行して配置される。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に熱抵抗の大きな支持脚で支えられた熱型光検出器部を備え、赤外線の入射による熱型検出器部の特性変化を支持脚内の配線を通して検出する赤外線固体撮像素子であって、少なくとも1本の支持脚内に複数の配線を配置したことを特徴とする赤外線固体撮像素子。

IPC (2件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02

FI (2件)：

G01J 1/02 R ,  G01J 5/02 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 赤外線検知装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-213441   出願人：富士通株式会社
• 赤外線検出素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-352112   出願人：松下電工株式会社
• 特開平1-096548