特許

J-GLOBAL ID：200903036242131002

ポジ型感光性組成物

発明者： 藤森 亨
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (2件)： 高松 猛 ,  矢澤 清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-198286
公開番号（公開出願番号）：特開2008-287284
出願日： 2008年07月31日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：

【課題】高感度で、パターンのエッジラフネスが改良されたポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、且つ下記一般式(IV)、下記一般式(AI)又は下記一般式(VI)で表されるラクトン構造を有する繰り返し単位を有する、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂及び(C)分子内に少なくとも炭素数8以上の置換又は無置換の脂肪族炭化水素基を含有する塩基性化合物を含有するポジ型感光性組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、 (B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、且つ下記一般式(IV)、下記一般式(AI)又は下記一般式(VI)で表されるラクトン構造を有する繰り返し単位を有する、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂及び (C)分子内に少なくとも炭素数8以上の置換又は無置換の脂肪族炭化水素基を含有する塩基性化合物 を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08F 220/62

FI (5件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 504 ,  H01L21/30 502R ,  C08F220/62

Fターム (34件)：

2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BF02 ,  2H025BF11 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025DA34 ,  2H025FA17 ,  4J100AJ02R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AM17R ,  4J100BA02R ,  4J100BA03 ,  4J100BA11Q ,  4J100BA20Q ,  4J100BA30S ,  4J100BA58S ,  4J100BC04P ,  4J100BC09P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-128516   出願人：ジェイエスアール株式会社
• ポジ型フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-327091   出願人：富士写真フイルム株式会社

審査官引用 (2件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-128516   出願人：ジェイエスアール株式会社
• ポジ型フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-327091   出願人：富士写真フイルム株式会社