特許
J-GLOBAL ID：200903036289399445

石英ガラス製冶工具の再生方法

発明者：
吉田 信男

吉田 信男 について


出願人/特許権者：
株式会社エーテック

株式会社エーテック について

, 
江信特殊硝子株式会社

江信特殊硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 堀 城之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-303511
公開番号（公開出願番号）：特開2004-137109
出願日： 2002年10月17日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：
【課題】高温の火炎処理で石英ガラスを再溶融し不純物を取り除く加工処理を行い、消耗石英ガラス製冶工具を再生石英ガラス製冶工具として再生する石英ガラス製冶工具の再生方法に関する技術を提供する点にある。【解決手段】図1に示すように、本実施の形態に係る石英ガラス製冶工具の再生方法は、石英ガラス冶工具再生メーカ20がユーザー10Aから供給された消耗石英ガラス製冶工具(石英ガラス材料)12を再生処理し、品質データ24を添付した再生石英ガラス製冶工具22をユーザー10Bに対して納入する方法である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体製造工程などに用いられる石英ガラス製冶工具の再生方法であって、 前記半導体製造工程での使用後に廃棄処分となる半導体製造業のユーザーから供給された消耗石英ガラス製冶工具が、 所定温度以上の高温の火炎処理にて石英ガラスを再溶融して不純物を取り除く再生処理され、 再生石英ガラス製冶工具の製品として前記ユーザー、又は、他のユーザーに納入される ことを特徴とする石英ガラス製冶工具の再生方法。
IPC (2件)：
C03B20/00 ,  B09B3/00
FI (2件)：
C03B20/00 K ,  B09B3/00 303Z
Fターム (14件)：
4D004AA18 ,  4D004AB10 ,  4D004AC05 ,  4D004BA10 ,  4D004CA29 ,  4D004CA34 ,  4D004CA40 ,  4D004CB34 ,  4D004CC03 ,  4D004CC12 ,  4D004DA03 ,  4D004DA06 ,  4D004DA16 ,  4G014AH00
引用特許：
審査官引用 (3件)

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