特許
J-GLOBAL ID：200903054651109084

石英ルツボ及びその改質方法

発明者：
伊藤 誠人

伊藤 誠人 について

, 
村上 浩紀

村上 浩紀 について


出願人/特許権者：
住友金属工業株式会社

住友金属工業株式会社 について


代理人 (1件)： 生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-199448
公開番号（公開出願番号）：特開2002-020196
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：
【要約】【課題】 CZ法による単結晶育成での無転位収率を改善する。【解決手段】 CZ法による単結晶育成に使用される石英ルツボ10の底部Bを熱処理して、その低部における赤外線透過率を30%未満に低減する。使用済みの石英ルツボ10の内面を高温熱処理、溶解又は研削して、その内面における非晶質化率を70%以上に回復させる。
請求項（抜粋）：
CZ法による単結晶育成に使用される石英ルツボであって、底部の赤外線透過率が30%未満である石英ルツボ。
IPC (3件)：
C30B 29/06 502 ,  C03B 20/00 ,  C30B 15/10
FI (4件)：
C30B 29/06 502 B ,  C03B 20/00 H ,  C03B 20/00 E ,  C30B 15/10
Fターム (5件)：
4G014AH00 ,  4G077AA02 ,  4G077BB03 ,  4G077CF10 ,  4G077EG30
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (13件)
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