特許

J-GLOBAL ID：200903036292079788

露光装置及び露光方法

発明者： 原山 智大
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-088931
公開番号（公開出願番号）：特開2006-269940
出願日： 2005年03月25日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：

【課題】液浸液中の微小気泡の前記露光光路遮断による結像欠陥や気泡消滅時の圧壊衝撃による感光膜破損を低減すること。【解決手段】原版のパターンを基板に投影する光学系と、前記基板と前記光学系との間の少なくとも一部の領域に液体を供給する給液手段とを有し、前記領域を前記液体で満たした状態で前記パターンを前記基板に露光する露光装置であって、前記液体の流動経路に極性を付与する付与手段を具備する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

原版のパターンを基板に投影する光学系と、前記基板と前記光学系との間の少なくとも一部の領域に液体を供給する給液手段とを有し、前記領域を前記液体で満たした状態で前記パターンを前記基板に露光する露光装置であって、 前記液体の流動経路に極性を付与する付与手段を具備することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G03F 7/38

FI (3件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521 ,  G03F7/38 501

Fターム (11件)：

2H096AA25 ,  2H096BA01 ,  2H096BA09 ,  2H096EA00 ,  2H096JA02 ,  5F046BA04 ,  5F046CB01 ,  5F046CB26 ,  5F046CC01 ,  5F046DA07 ,  5F046DA27

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 液浸式投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-296518   出願人：キヤノン株式会社
• 投影露光方法及び装置
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP1999001262   出願人：株式会社ニコン
• 微細気泡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-347352   出願人：大成博文