特許
J-GLOBAL ID：200903036455357861

プラズマ密度測定用安定化発振器回路

発明者：
サーキス、マーレー・ディー

サーキス、マーレー・ディー について

, 
バーディアン、ジョセフ・ティー

バーディアン、ジョセフ・ティー について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-537762
公開番号（公開出願番号）：特表2003-514362
出願日： 2000年07月20日
公開日（公表日）： 2003年04月15日
要約：
【要約】【課題】本発明の課題は、プラズマを含む開放共振器に対して固定化されるマイクロ波発振器を使用して、改良されたプラズマ電子密度測定・制御システムを提供することにある。【解決手段】本発明は、電子(プラズマ)密度を測定するシステムの一部として電圧制御発振器(VCO)の発振周波数を安定化させる回路によって達成されるプラズマ密度測定用安定化発振器回路である。
請求項（抜粋）：
フィードバック信号によって制御される電圧制御発振器を有する、プラズマ室を制御する回路において、その改良構成が、 ディザ電圧を生成するディザ電圧源と、 前記ディザ制御電圧源を前記フィードバック信号に加え、かつその出力を前記電圧制御発振器の電圧制御入力に印加する加算器とを備えている。
IPC (3件)：
H05H 1/00 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46
FI (3件)：
H05H 1/00 A ,  H05H 1/46 R ,  H01L 21/302 103
Fターム (2件)：
5F004CB05 ,  5F004CB20
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • プラズマ処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-190548   出願人：株式会社ダイヘン
  • プラズマ発生装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-135901   出願人：三菱電機株式会社
引用文献：
審査官引用 (2件)

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