特許

J-GLOBAL ID：200903036530208915

センサの設計およびプロセス

発明者： セルヴァクマー,アルジャン ,  ゴールドバーグ,ハワード,ディー. ,  ユ,デュリ ,  イプ,マチュ- ,  シュミット,マーティン,エー. ,  マーシュ,ジェームズ,エル. ,  ファン,ビン-ファイ ,  サイモン,フィリップ
出願人/特許権者： インプット/アウトプット,インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外10名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-605219
公開番号（公開出願番号）：特表2002-539460
出願日： 2000年03月16日
公開日（公表日）： 2002年11月19日
要約：

【要約】地震データを測定する加速度計(305)。加速度計(305)は、真空密封プロセス中に使用する一体通気穴と、キャップ・ウェーハの反りを軽減する平衡金属パターンとを含む。加速度計(305)は、結合圧力を加速度計(305)の特定領域に隔離するため、頂部キャップ・プレス・フレーム窪み(405)および底部キャップ・プレス・フレーム窪み(420)も含む。加速度計(305)は、加速度計(305)の性能劣化を防止するため、真空密封され、平衡金属パターン(730)を含む。加速度計(305)に方形切断プロセスを実行して、加速度計(305)の電気リード線を絶縁する。加速度計(305)は、さらに、過剰衝撃保護バンパ(720)およびパターン形成金属電極を含み、加速度計(305)の作動中の静摩擦を軽減する。

請求項（抜粋）：

加速度計であって、 空洞を有するハウジング、空洞内に配置されたばね質量アセンブリ、およびばね質量アセンブリに結合された1つまたは複数の電極パターンを含む、加速度を検出する測定質量と、 頂部コンデンサ電極、頂部キャップ平衡金属パターン、頂部キャップ・プレス・フレーム窪み、および頂部キャップ過剰衝撃バンパを含む、測定質量に結合された頂部キャップ・ウェーハと、 底部コンデンサ電極、底部キャップ平衡金属パターン、底部キャップ・プレス・フレーム窪み、および底部キャップ過剰衝撃バンパを含む、測定質量に結合された底部キャップ・ウェーハとを備える加速度計。

IPC (4件)：

G01P 15/125 ,  G01H 1/00 ,  G01P 15/08 ,  H01L 29/84

FI (4件)：

G01P 15/125 ,  G01H 1/00 E ,  H01L 29/84 Z ,  G01P 15/08 P

Fターム (15件)：

2G064AB19 ,  2G064BA08 ,  2G064BD55 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA06 ,  4M112CA13 ,  4M112DA04 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112FA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特許第2825664号
  
• マイクロセンサ及びそれを用いた制御システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-063154   出願人：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
• 特表平3-501887
  
• アノード・ボンディング型容量性センサ用電極構造及び方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平7-525234   出願人：リットン・システムズ・インコーポレーテッド