特許
J-GLOBAL ID:200903036560314949
カーボンナノチューブの成長方法およびカーボンナノチューブ構造体の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大井 正彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-039553
公開番号(公開出願番号):特開2007-284336
出願日: 2007年02月20日
公開日(公表日): 2007年11月01日
要約:
【課題】 基板上に種々の触媒物質を用いて形成した触媒微粒子を用いて高品質のカーボンナノチューブを成長させることができるカーボンナノチューブの成長方法およびカーボンナノチューブ構造体の製造方法の提供。【解決手段】 カーボンナノチューブの成長方法は、酸化性雰囲気中において加熱処理して得られる触媒微粒子を、大気に曝すことなくカーボンナノチューブ成長用炭素含有ガス雰囲気中に存在させてカーボンナノチューブを成長させる工程を含むことを特徴とする。触媒微粒子は、粒径が0.4〜10nmの範囲にあるものであることが好ましい。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
酸化性雰囲気中において加熱処理して得られる触媒微粒子を、大気に曝すことなくカーボンナノチューブ成長用炭素含有ガス雰囲気中に存在させてカーボンナノチューブを成長させる工程を含むことを特徴とするカーボンナノチューブの成長方法。
IPC (10件):
C01B 31/02
, B01J 23/52
, B01J 23/50
, B01J 23/72
, B01J 23/42
, B01J 23/44
, B01J 27/224
, B01J 21/14
, B01J 21/06
, D01F 9/127
FI (10件):
C01B31/02 101F
, B01J23/52 M
, B01J23/50 M
, B01J23/72 M
, B01J23/42 M
, B01J23/44 M
, B01J27/224 M
, B01J21/14 M
, B01J21/06 M
, D01F9/127
Fターム (61件):
4G146AA11
, 4G146AA12
, 4G146AB06
, 4G146AC03B
, 4G146AC16B
, 4G146AD28
, 4G146BA11
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC23
, 4G146BC25
, 4G146BC26
, 4G146BC27
, 4G146BC29
, 4G146BC33B
, 4G146BC37B
, 4G146BC38B
, 4G146BC42
, 4G146BC43
, 4G146BC46
, 4G146BC48
, 4G169AA02
, 4G169AA08
, 4G169BB01A
, 4G169BB01B
, 4G169BB02A
, 4G169BB02B
, 4G169BB15A
, 4G169BB15B
, 4G169BC23A
, 4G169BC23B
, 4G169BC31A
, 4G169BC31B
, 4G169BC32A
, 4G169BC32B
, 4G169BC33A
, 4G169BC33B
, 4G169BC72A
, 4G169BC72B
, 4G169BC75A
, 4G169BC75B
, 4G169BD05A
, 4G169BD05B
, 4G169CB81
, 4G169DA05
, 4G169EA08
, 4G169EB15Y
, 4G169EB18X
, 4G169EB19
, 4G169FA03
, 4G169FB02
, 4G169FB30
, 4L037CS03
, 4L037FA02
, 4L037PA02
, 4L037PA05
, 4L037PC05
, 4L037UA02
引用特許: