特許
J-GLOBAL ID：200903036585575208

レーザ顕微鏡

発明者：
上田 勝英

上田 勝英 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について

, 
日本電子ライオソニック株式会社

日本電子ライオソニック株式会社 について


代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-042259
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236640
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】 大きな試料であっても破損の危険のない試料ホルダを備えたレーザ顕微鏡を実現する。【解決手段】 ホルダ20は中心部に比較的大きな径の開口22が穿たれ、この開口22にはアクリル樹脂等のレーザ光を透過する透明板23が嵌め込まれており、試料1の裏面はホルダ20と透明板23の表面とに面接触されている。このホルダ20上に試料1をセットし、排気管26、排気孔25を介して溝24内を排気することにより、試料1はホルダ20に真空チャックされる。この後、マニピュレータ5を操作し、電極6を試料1の任意の部分に接触させ、レーザ光を透明板23を透過させて試料1の裏面に照射し、OBIC像の観察を行う。この際、試料1の観察箇所には、電極6が押し付けられるが、試料1の裏面は透明板23とホルダ20の表面に密着されていることから、試料1が割れたりする事故は防止される。
請求項（抜粋）：
試料の表面に設けられ、試料の特定箇所への電圧の印加とOBIC検出のための電極を操作するマニピュレータと、試料の裏面からレーザ光を照射する光学系と、試料を保持するホルダとを備えており、ホルダの少なくともレーザ光を通す部分を透明な板で形成したレーザ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01R 31/302 ,  G02B 21/00 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01R 31/28 L ,  G02B 21/00 ,  H01L 21/66 C
引用特許：
審査官引用 (11件)
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