特許
J-GLOBAL ID：200903036594272595
水晶振動子の周波数調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-131528
公開番号（公開出願番号）：特開平9-321563
出願日： 1996年05月27日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 短時間で周波数を上げる方向での調整を行える水晶振動子の周波数調整方法を提供することを目的とする。【解決手段】 水晶振動子に形成された電極の表面のうち一定のエッチング領域Sにのみ荷電粒子を含むイオンビームを衝突させてエッチングする。
請求項（抜粋）：
周波数を調整すべき水晶振動子にイオンビームを当てて周波数を調整する水晶振動子の周波数調整方法において、前記水晶振動子に形成された電極の表面のうち一定のエッチング領域にのみ荷電粒子を含むイオンビームを衝突させてエッチングすることを特徴とする水晶振動子の周波数調整方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 3/04 B
, H03H 9/19 A
