感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-265500
公開番号（公開出願番号）：特開平7-175214
出願日： 1994年10月28日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：

【要約】【目的】解像力に優れ、かつ良好なパターン形状と実用的な感度及び高い耐熱性を有するフォトレジストを提供する。【構成】アルカリ可溶性樹脂、感光性化合物及び溶剤を含有する感光性樹脂組成物において、感光性化合物として、特定のフェノール性化合物とカルボニル化合物から誘導される重量平均分子量600〜2200のノボラック樹脂のキノンジアジドスルホン酸エステル化物及び、ヒドロキシベンゾフェノンのキノンジアジドスルホン酸エステル化物を含むものを使用する。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド系感光性化合物及び溶剤を含有する感光性樹脂組成物において、該感光性化合物が?@重量平均分子量が600〜2,200で、下記一般式(i)で示されるノボラック樹脂(A)または重量平均分子量が600〜2,200で下記一般式(ii)で示されるノボラック樹脂(B)のキノンジアジドスルホン酸エステル化物及び?A下記一般式(iii)で表されるヒドロキシベンゾフェノン類(C)のキノンジアジドスルホン酸エステル化物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(式中、R1 及びR4 はそれぞれアルキル基を表し、R2 はアルキル基またはアリール基を表し、R3 は水素原子またはアルキル基を表し、u及びvはそれぞれ0〜3の整数を表す。但しR1 乃至R4 が複数個存在する場合、それらはそれぞれ同一でも異なっていてもよい。k及びlは0以上の数を表し、k:1=1:9〜10:0を満たす)【化2】(式中、R5 は水酸基又はアルキル基を表し、R6 及びR9 はそれぞれ水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、R7 及びR10はそれぞれ水素原子またはアルキル基を表し、R8 はアルキル基を表し、xは0〜2の整数を表し、yは0〜3の整数を表す。但しR5 乃至R10がそれぞれ複数個存在する場合、それらはそれぞれ同一でも異なっていてもよい。m及びnは0以上の数を表し、m:n=10:0〜6:4を満たす)【化3】(式中、p及びqはそれぞれ0以上の整数を表し、3≦p+q≦6を満たす)

IPC (3件)：

G03F 7/022 , G03F 7/023 511 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-108054
特開平4-301847
感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-353005 出願人：コニカ株式会社, 三菱化成株式会社

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