アルカリ現像用ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阿形明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-237859
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092670
出願日： 1993年09月24日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【構成】アルカリ可溶性ノボラック型樹脂に対し、感光性成分として、フェノールとヒドロキシベンズアルデヒドとを酸性触媒の存在下、縮合反応させて得られる重量平均分子量400〜2000(ポリスチレン換算)のヒドロキシ化合物と1,2-ナフトキノンジアジド-スルホン酸とのエステル及び場合によりさらに一般式【化1】(Dの中の少なくとも1個はナフトキノン-1,2-ジアジド-スルホニル基で、残りは水素原子である)で表わされる化合物を配合したアルカリ現像用ポジ型感光性樹脂組成物である。【効果】感光層の厚みの不均一、光源距離の変動によりパターン精度がそこなわれることがなく、忠実度の高い耐熱性パターンを得ることができ、フォーカス余裕度も大きくなる。

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性ノボラック型樹脂に対し、感光性成分として(B)フェノールとヒドロキシベンズアルデヒドとを酸性触媒の存在下縮合反応させて得られるポリスチレン換算重量平均分子量400〜2000のヒドロキシ化合物とナフトキノン-1,2-ジアジド-スルホン酸とのエステルを配合したことを特徴とするアルカリ現像用ポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/022 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平4-211254
特開平4-301847
特開平4-036751

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