ロータリジョイントの配管接続構造

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： ▲吉▼川俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-015280
公開番号（公開出願番号）：特開2001-208258
出願日： 2000年01月25日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】例えばCMP研磨装置において、金属イオンの汚染等を防止でき、また、より小形化し得るロータリジョイントの配管接続構造を提供する。【解決手段】シールキャップ43を貫通させたボルト49をシャフト12に対して軸方向に締め込むことで、このシールキャップ43により、コネクタ42がシャフト12の下端に開口する回転側流路14の開口部に固定され、かつ、各チューブ41の拡径部を軸方向に押圧した状態が得られるように構成する。これにより、従来、オスコネクタをシャフトに直接螺着した場合に、樹脂コーティングが剥離して生じていた金属母材の露出がなく、金金属イオンの汚染が防止される。また、回転側流路14が複数形成されている場合でも、各回転側流路14の間隔をより小さくできるので、シャフト12の径をより小さくして小型化することができる。

請求項（抜粋）：

流体供給ポートを外面に有する外筒と、この外筒に挿入されて回転駆動される回転軸体とを設けて、上記流体供給ポートから回転軸体の端面に通ずる流路を形成する一方、チューブの端部側に拡径状の変形を生じさせてこのチューブに圧入される配管接続部材と、上記チューブが貫通する押え部材とを設け、上記流路が回転軸体の端面に開口する開口部位に上記配管接続部材を固定し、かつ、この配管接続部材からのチューブの抜脱を阻止すべく押え部材をチューブの上記拡径状の変形部位を軸方向に押圧する締付位置に固定して成るロータリジョイントの配管接続構造であって、回転軸体の端面に形成したねじ部に、上記押え部材を挿通させた締結部材を螺着して軸方向に締め込むことにより、この押え部材が軸方向に押動されて上記締付位置に固定され、かつ、上記配管接続部材が上記流路の開口部位に固定されるように形成していることを特徴とするロータリジョイントの配管接続構造。

IPC (2件)：

F16L 27/093 , B24B 37/00

FI (2件)：

B24B 37/00 K , F16L 27/08 A

Fターム (13件)：

3C058AA07 , 3C058AA16 , 3C058AC04 , 3C058BC02 , 3C058CB04 , 3C058CB06 , 3C058DA17 , 3H104JA04 , 3H104JB04 , 3H104JC10 , 3H104JD09 , 3H104LF16 , 3H104LG02

引用特許：

審査官引用 (4件)

流体用ロータリジョイント
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-305786 出願人：日本ピラー工業株式会社
軟質合成樹脂管用継手
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-199226 出願人：株式会社清水合金製作所
ロータリジョイント
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-092099 出願人：日本ピラー工業株式会社

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