特許
J-GLOBAL ID:200903036617321610

流体流量検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-264848
公開番号(公開出願番号):特開平11-083581
出願日: 1997年09月11日
公開日(公表日): 1999年03月26日
要約:
【要約】【課題】 流体を案内する流体通路に配置することで流体の流量を検出する場合に、その検出信頼性を長期間保持することが流体流量検出装置を提供すること。【解決手段】 流体Xを案内する流体通路154に配置される流体流量検出装置100であり、 流体通路154の壁面に沿って間隔をおいて配置されて、流体Xに接触する複数の流量センサ56と、流量センサ56が流体Xの流量を測定する際に流量センサ56の出力を温度補正するために配置されて流体Xに接触する温度補正センサ160であり、流体通路154の壁面に沿って間隔をおいて配置されている複数の温度補正センサ160を備える。
請求項(抜粋):
流体を案内する流体通路に配置される流体流量検出装置であり、流体通路の壁面に沿って間隔をおいて配置されて、流体に接触する複数の流量センサと、流量センサが流体の流量を測定する際に流量センサの出力を温度補正するために配置されて流体に接触する温度補正センサであり、流体通路の壁面に沿って間隔をおいて配置されている複数の温度補正センサと、を備えることを特徴とする流体流量検出装置。
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 流量計
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-177231   出願人:東京瓦斯株式会社, 東京ガスケミカル株式会社, 山武ハネウエル株式会社, 大同ほくさん株式会社
  • 熱式流量センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-217878   出願人:シーケーディ株式会社
  • 流量センサー
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-279385   出願人:積水化成品工業株式会社
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