分光式特定成分センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西川惠清 , 森厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-394638
公開番号（公開出願番号）：特開2005-156329
出願日： 2003年11月25日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：

【課題】良好な製造歩留まり且つ小型の光学系にて、流体物に含まれる特定成分を検出する。【解決手段】気体又は液体からなる流体物に含まれる特定成分を検出する分光式特定成分センサであって、ビーム光を出射する光源2と、筒状に形成されその筒状内部が流体物の流路でありビーム光が照射する検知管3と、流路に対して光源2の対岸側にありビーム光を反射させる光反射体4と、流路に対して光源2と同じ側にあり光反射体4で反射されたビーム光を受光する受光器5と、光源2より光反射体4を経由して受光器5に至る光軸上にビーム光を分光するフィルタ分光部6とを備え、そのフィルタ分光部6に、それぞれが光軸上に挿入するか否かを位置制御されるとともに異なる波長帯の光を透過させる光学多層膜フィルタ60を複数設ける。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

気体又は液体からなる流体物に含まれる特定成分を検出する分光式特定成分センサであって、ビーム光を出射する光源と、筒状に形成されその筒状内部が前記流体物の流路であり前記ビーム光が照射する検知管と、前記流路に対して前記光源の対岸側にあり前記ビーム光を反射させる光反射体と、前記流路に対して前記光源と同じ側にあり前記光反射体で反射された前記ビーム光を受光する受光器と、前記光源より前記光反射体を経由して前記受光器に至る光軸上に前記ビーム光を分光するフィルタ分光部とを備え、そのフィルタ分光部に、それぞれが前記光軸上に挿入するか否かを位置制御されるとともに異なる波長帯の光を透過させる光学多層膜フィルタを複数設けることを特徴とする分光式特定成分センサ。

IPC (2件)：

G01N21/35 , G01J3/26

FI (2件)：

G01N21/35 Z , G01J3/26

Fターム (35件)：

2G020AA03 , 2G020BA02 , 2G020BA12 , 2G020BA14 , 2G020CA02 , 2G020CB04 , 2G020CB27 , 2G020CB42 , 2G020CC26 , 2G020CC48 , 2G020CD03 , 2G020CD13 , 2G020CD24 , 2G020CD26 , 2G059AA01 , 2G059BB01 , 2G059BB04 , 2G059DD12 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE12 , 2G059GG02 , 2G059HH01 , 2G059JJ02 , 2G059JJ13 , 2G059JJ24 , 2G059KK01 , 2G059KK09 , 2G059LL03 , 2G065AA04 , 2G065AB02 , 2G065AB28 , 2G065BA13 , 2G065BB27 , 2G065BB37

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平3-205521号公報(第4頁-第6頁、及び、第2図)
ガス検出器及びガス検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-235468 出願人：矢崎総業株式会社
赤外線ガス分析計
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-199771 出願人：株式会社島津製作所

審査官引用 (12件)

特許第3325690号
赤外線ガス分析計
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-030820 出願人：横河電機株式会社
フィルタ切換え装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-295532 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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