特許
J-GLOBAL ID:200903036706398244

レーザー装置及びレーザーモジュール

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-059979
公開番号(公開出願番号):特開2007-240648
出願日: 2006年03月06日
公開日(公表日): 2007年09月20日
要約:
【課題】レーザーモジュールと光ファイバーとの接続部分の汚染や損傷を防止して光出力の低下を防ぐことができるレーザー装置及びレーザーモジュールを提供する。【解決手段】光ファイバー44と、光ファイバー46と接続され、光ファイバー46の端部に向けてレーザー光Lを出射するレーザー光源が収容されたレーザーモジュールと、を備え、レーザー光Lの焦点位置Pが、光ファイバー46のコア42の内部となるように、光ファイバー46とレーザーモジュールとが接続されている。【選択図】図3
請求項(抜粋):
光ファイバーと、 前記光ファイバーと接続され、前記光ファイバーの端部に向けてレーザー光を出射するレーザー光源が収容されたレーザーモジュールと、 を備え、 前記レーザー光の焦点位置が、前記光ファイバーの端部以外の位置となるように、前記光ファイバーと前記レーザーモジュールとが接続されている ことを特徴とするレーザー装置。
IPC (2件):
G02B 6/42 ,  H01S 5/022
FI (2件):
G02B6/42 ,  H01S5/022
Fターム (32件):
2H137AB06 ,  2H137AC02 ,  2H137BA04 ,  2H137BA21 ,  2H137BA22 ,  2H137BB02 ,  2H137BB22 ,  2H137BC02 ,  2H137BC71 ,  2H137CA07 ,  2H137CA15A ,  2H137CA15F ,  2H137CA16C ,  2H137CA35 ,  2H137CA78 ,  2H137CB22 ,  2H137CB26 ,  2H137CB33 ,  2H137CC01 ,  2H137CC05 ,  2H137CC10 ,  2H137CC30 ,  2H137DB02 ,  5F173MA10 ,  5F173MB01 ,  5F173MC04 ,  5F173MD84 ,  5F173ME03 ,  5F173ME25 ,  5F173ME32 ,  5F173MF03 ,  5F173MF23
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 露光ヘッド及び露光装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-149886   出願人:富士写真フイルム株式会社, 富士写真光機株式会社
  • 特許第2898620号公報
  • 半導体デバイスの製造方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-198783   出願人:ソニー株式会社

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