特許

J-GLOBAL ID：200903036739620511

炭化珪素種結晶を固定したサセプタの製造方法

発明者： 碇 真憲 ,  金庭 徹 ,  阿部 孝夫
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 野口 恭弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-219228
公開番号（公開出願番号）：特開2008-044802
出願日： 2006年08月11日
公開日（公表日）： 2008年02月28日
要約：

【課題】炭化珪素単結晶製造時に炭化珪素種単結晶とサセプタとの接着界面が剥離することなく、炭化珪素種単結晶が確実にサセプタに固定されるような好適な接着方法を提供する。【解決手段】炭化珪素種結晶、種結晶を固定するためのサセプタ、及び種結晶をサセプタに固定する接着剤を準備する工程、炭化珪素種結晶及び/又はサセプタに気泡通路の確保された非連続形状に接着剤を適用する工程、及び、種結晶とサセプタとを接着する工程を含む、炭化珪素種結晶固定サセプタの製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

炭化珪素種結晶、該種結晶を固定するためのサセプタ、及び該種結晶を該サセプタに固定する接着剤を準備する工程、 該種結晶及び/又は該サセプタに気泡通路の確保された非連続形状に接着剤を適用する工程、及び、 該種結晶と該サセプタとを接着する工程を含むことを特徴とする、 炭化珪素種結晶固定サセプタの製造方法。

IPC (2件)：

C30B 29/36 ,  C09J 201/00

FI (2件)：

C30B29/36 A ,  C09J201/00

Fターム (16件)：

4G077AA02 ,  4G077BE08 ,  4G077DA02 ,  4G077DA18 ,  4G077EG11 ,  4G077HA02 ,  4G077HA06 ,  4G077HA12 ,  4G077SA01 ,  4G077SA04 ,  4G077SA12 ,  4J040EB021 ,  4J040HA026 ,  4J040KA23 ,  4J040PA44 ,  4J040PB24

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 種結晶固定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-345378   出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (3件)

• 炭化珪素単結晶インゴット及びその製造方法並びに炭化珪素単結晶育成用種結晶の装着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-107302   出願人：新日本製鐵株式会社
• 種結晶固定部及び種結晶固定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-334139   出願人：松下電器産業株式会社
• インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-012266   出願人：松下電器産業株式会社