特許
J-GLOBAL ID：200903004699250261
種結晶固定部及び種結晶固定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-334139
公開番号（公開出願番号）：特開2006-143511
出願日： 2004年11月18日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：
【課題】種結晶裏面と種結晶支持部との間で生じる裏面昇華を防止し、成長結晶中に伸長するマクロ欠陥の発生をより確実に抑制できるようにした炭化珪素結晶成長用の種結晶固定部と固定方法を提供する。【解決手段】蓋体の種結晶支持部の表面に接着剤を介して第1の炭化珪素基板を接着し、この第1の炭化珪素基板上に接着剤を介して、種結晶として第2の炭化珪素基板を接着し、炭化珪素単結晶を成長させることにより、種結晶の裏面昇華を防ぎ、成長結晶中に伸長するマクロ欠陥を抑制することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
炭素からなる支持部に種結晶を固定する種結晶固定部において、
前記支持部の表面に接着剤を介して第1の炭化珪素基板が接着され、
前記第1の炭化珪素基板上に前記接着剤と同一の接着剤を介して単結晶である第2の炭化珪素基板が接着されていることを特徴とする種結晶固定部。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B29/36 A
, C30B23/08 Z
4G077AA02
, 4G077BE08
, 4G077DA02
, 4G077DA18
, 4G077DA19
, 4G077EG11
, 4G077HA12
, 4G077SA04
