特許
J-GLOBAL ID:200903036768932220
画像分類方法、プログラムおよび画像分類装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松阪 正弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-124697
公開番号(公開出願番号):特開2003-317083
出願日: 2002年04月25日
公開日(公表日): 2003年11月07日
要約:
【要約】【課題】 好ましい判別関数を容易に生成することができる画像分類方法を提供する。【解決手段】 基板上に形成されたパターンの検査を行う際にパターンの欠陥を分類する画像分類方法において、教師データを準備する工程(ステップS21)と、GA処理により判別関数(関数木)を生成する工程(ステップS24)と、生成された判別関数を評価する工程(ステップS25)と、判別関数の生成および評価を繰り返す工程(ステップS28)とを設ける。これにより、好ましい判別関数が容易に生成される。そして、最終的に生成された判別関数を用いて欠陥の分類を行う。
請求項(抜粋):
画像を分類する画像分類方法であって、教師画像の教師特徴量群を準備する工程と、演算子群および変数群を含む関数要素群から選択されたものの組み合わせである判別関数を生成する工程と、前記教師特徴量群を前記判別関数の変数群に代入することにより評価値を取得する工程と、所定の基準を満たすまで前記判別関数を生成する工程および前記評価値を取得する工程を繰り返す工程と、対象画像から対象特徴量群を求める工程と、前記繰り返す工程により生成された判別関数の変数群に前記対象特徴量群を代入することにより前記対象画像の分類結果を取得する工程と、を有することを特徴とする画像分類方法。
IPC (6件):
G06T 1/00 305
, G01B 11/24
, G01B 11/30
, G06F 17/30 170
, G06F 17/30 210
, G06T 7/00 350
FI (6件):
G06T 1/00 305 A
, G01B 11/30 A
, G06F 17/30 170 B
, G06F 17/30 210 D
, G06T 7/00 350 D
, G01B 11/24 F
Fターム (44件):
2F065AA49
, 2F065AA56
, 2F065AA61
, 2F065BB02
, 2F065CC19
, 2F065FF04
, 2F065JJ02
, 2F065JJ03
, 2F065JJ25
, 2F065JJ26
, 2F065PP12
, 2F065QQ04
, 2F065QQ13
, 2F065QQ25
, 2F065RR08
, 5B057AA03
, 5B057BA02
, 5B057CE06
, 5B057CE12
, 5B057DA03
, 5B057DA12
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5B057DC04
, 5B057DC36
, 5B057DC40
, 5B075ND06
, 5B075NK06
, 5B075NK39
, 5B075NR12
, 5L096AA06
, 5L096BA03
, 5L096CA02
, 5L096EA35
, 5L096EA43
, 5L096FA59
, 5L096GA08
, 5L096GA17
, 5L096GA51
, 5L096GA55
, 5L096HA13
, 5L096JA11
, 5L096JA22
, 5L096KA04
引用特許:
引用文献:
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