特許
J-GLOBAL ID：200903036861828808

光記録媒体の反射層形成用銀合金スパッタリングターゲット

発明者：
三島 昭史

三島 昭史 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-352594
公開番号（公開出願番号）：特開2003-155561
出願日： 2001年11月19日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：
【要約】【課題】 光磁気記録ディスク(MD,MO)、光記録ディスク(CD-RW,DVD-RAM)などの光記録媒体のAg合金反射層を形成するための銀合金スパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】(1)Cu:0.5〜3質量%、Dy,La,Nd,Tb,Gdから選ばれる1種または2種以上の合計:0.1〜3質量%を含有し残部がAgである組成の銀合金、(2)Cu:0.5〜3質量%、Ca,Be,Siから選ばれる1種または2種以上の合計:0.005〜0.05質量%を含有し残部がAgである組成の銀合金、または(3)Cu:0.5〜3質量%、Dy,La,Nd,Tb,Gdから選ばれる1種または2種以上の合計:0.1〜3質量%、Ca,Be,Siから選ばれる1種または2種以上の合計:0.005〜0.05質量%を含有し残部がAgである組成の銀合金からなる。
請求項（抜粋）：
Cu:0.5〜3質量%を含有し、さらにDy,La,Nd,Tb,Gdから選ばれる1種または2種以上の合計:0.1〜3質量%を含有し、残部がAgである組成の銀合金からなることを特徴とする光記録媒体の反射層形成用銀合金スパッタリングターゲット。
IPC (6件)：
C23C 14/34 ,  C22C 5/06 ,  G11B 7/24 538 ,  G11B 7/26 531 ,  G11B 11/105 531 ,  G11B 11/105 546
FI (6件)：
C23C 14/34 A ,  C22C 5/06 Z ,  G11B 7/24 538 E ,  G11B 7/26 531 ,  G11B 11/105 531 Q ,  G11B 11/105 546 K
Fターム (14件)：
4K029AA09 ,  4K029BA22 ,  4K029BC07 ,  4K029BD09 ,  4K029BD12 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  5D029MA13 ,  5D075EE03 ,  5D075FG01 ,  5D121AA05 ,  5D121EE03 ,  5D121EE09 ,  5D121EE14
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM