化学センサ装置・媒体およびそれを用いた検査方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-004491
公開番号（公開出願番号）：特開2003-270132
出願日： 2003年01月10日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】金属微粒子を用いる従来の局在プラズモン共鳴センサにおける、金属微粒子の大きさのばらつき、および配置がランダムであることに起因する、吸光度スペクトルの幅が広く、ピーク強度が低下してしまうという問題、並びに金属微粒子近傍の媒質の変化を検出する信号変化の低さによるセンサとしての感度の限界といった問題を解決する。【解決手段】開口が複数設けられた金属膜と、開口内に配置されたセンサ材料と、光源と、光源から出射され開口を透過または反射した光を検出する光検出器とを有し、開口は、金属膜面内の第一の方向に周期的に配列され、その方向の大きさと間隔が、ともに、前記光の波長以下であるセンサ装置。また、前記金属膜と、前記センサ材料とを有し、前記開口の第一の方向における周期的配列の方向の大きさと間隔が、ともに200nm以下であることを特徴するセンサ媒体。並びにこれらを用いた検査方法。

請求項（抜粋）：

開口が複数設けられた金属膜と、該開口内に配置されたセンサ材料と、光源と、該光源から出射され該開口を透過または反射した光を検出する光検出器とを有するセンサ装置であって、該開口は、該金属膜面内の第一の方向に周期的に配列され、その方向の大きさと間隔が、ともに、前記光の波長以下であることを特徴するセンサ装置。

IPC (7件)：

G01N 21/27 , G01N 21/64 , G01N 21/75 , G01N 33/02 , G01N 33/483 , G01N 33/53 , G01N 37/00 102

FI (9件)：

G01N 21/27 C , G01N 21/27 B , G01N 21/27 Z , G01N 21/64 G , G01N 21/75 Z , G01N 33/02 , G01N 33/483 C , G01N 33/53 M , G01N 37/00 102

Fターム (40件)：

2G043AA03 , 2G043BA16 , 2G043CA03 , 2G043DA02 , 2G043DA05 , 2G043EA01 , 2G043HA01 , 2G043HA15 , 2G043JA02 , 2G043LA02 , 2G043LA03 , 2G045DA13 , 2G045DA36 , 2G045FA01 , 2G045FB01 , 2G045FB03 , 2G045FB12 , 2G045GC10 , 2G054CA22 , 2G054FA17 , 2G054GA04 , 2G054GB10 , 2G059AA02 , 2G059AA05 , 2G059BB04 , 2G059BB11 , 2G059BB12 , 2G059DD03 , 2G059DD12 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE07 , 2G059EE12 , 2G059FF12 , 2G059GG10 , 2G059HH02 , 2G059JJ03 , 2G059JJ11 , 2G059KK02 , 2G059KK04

引用特許：

出願人引用 (2件)

局在プラズモン共鳴センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-167548 出願人：理化学研究所
シャシーダイナモメータの走行抵抗制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-165453 出願人：株式会社明電舎

審査官引用 (12件)

局在プラズモン共鳴センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-167548 出願人：理化学研究所
高光透過開口アレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-177513 出願人：日本電気株式会社
複数の検知領域を備えた可動センサを有する光分析方法およびシステム
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-521374 出願人：イメイション・コーポレイション

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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