特許
J-GLOBAL ID：200903036981081315
基板吸着機構及び基板検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
棚井 澄雄
, 志賀 正武
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 高柴 忠夫
, 増井 裕士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-348709
公開番号（公開出願番号）：特開2007-157867
出願日： 2005年12月02日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
【課題】被検査基板の反り、歪みに対応して吸着面を上下移動及び傾斜可能な基板吸着機構であって、簡易な構造で、かつ吸着面の初期高さ(上下のストローク量)を容易に調整することが可能な基板吸着機構を提供する。【解決手段】基板吸着機構50は、上端部51aに開口する収容凹部51bを有するパッド支持部材51と、上端部52aに被検査基板Wを吸着する吸着面52bが設けられる吸着パッド52と、吸着パッド52の下端部52cに設けられるコイルスプリング53と、吸引孔57に挿入されたストッパー61とを備える。吸着パッド52には、弾性変形可能なパッキン59が外嵌されていて、隙間56を気密に閉塞している。ストッパー61は、吸引孔57の縮径部57bの内径よりも大に設定された径の頭部61aを有し、軸部61bの先端には、ネジ部61cが形成されているネジである。【選択図】図12
請求項（抜粋）：
上端部に開口する収容凹部を有し、該収容凹部の内部を排気する吸気管を接続可能なエアー引き通路が設けられたパッド支持部材と、
上端部に被検査基板を吸着する吸着面が設けられ、前記収容凹部に収容される基部側を中心として前記吸着面が揺動可能で、前記吸着面から前記基部まで貫通し、前記エアー引き通路と連通する吸引孔が形成された吸着パッドと、
該吸着パッドと前記収容凹部との隙間を気密に閉塞するパッキンと、
前記吸着パッドの前記基部の下端に設けられ、前記吸着パッドを上方に付勢する弾性部材と、
前記吸着パッドを所定の係止位置で係止可能なストッパーとを備え、
前記吸着パッドは、前記弾性部材が弾性変形することによって、前記ストッパーの前記係止位置まで上下移動可能であるとともに、前記ストッパーは前記係止位置を調整可能であることを特徴とする基板吸着機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (15件)：
2H088FA17
, 2H088FA30
, 2H088MA20
, 5F031CA05
, 5F031GA24
, 5F031GA26
, 5F031GA48
, 5F031GA62
, 5F031HA14
, 5F031HA53
, 5F031KA06
, 5F031KA20
, 5F031LA03
, 5F031MA33
, 5F031PA13
出願人引用 (2件)
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特許第3122590号公報
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基板吸着部材および装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-242141
出願人：オリンパス光学工業株式会社
審査官引用 (2件)
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