特許
J-GLOBAL ID：200903036991260439
搬送装置及び基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-046697
公開番号（公開出願番号）：特開平11-340302
出願日： 1999年02月24日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 一つのキャリアカセット内に厚さの異なる二種類以上のガラス基板を収容した場合であっても、これらガラス基板を円滑に搬送及び処理することのできる搬送装置及び基板処理装置を提供する。【解決手段】 複数の被処理基板Gを水平方向に収容する収容カセットC内の被処理基板Gの厚さに応じて複数の被処理基板Gを複数の群に分け、各群に属する被処理基板Gに当該群に属する識別子を付与し、当該識別子に基づき搬送手段による被処理基板Gの搬送等を制御する制御機構を具備する。
請求項（抜粋）：
複数の被処理基板を水平方向に収容する収容カセットを複数載置するカセット載置部と、前記収容カセットに収容された各被処理基板を水平方向に出し入れする搬送機構と、前記被処理基板の厚さに応じて前記複数の被処理基板を複数の群に分け、各群に属する被処理基板に当該群に属する識別子を付与し、当該識別子に基づき前記搬送手段による被処理基板の搬送を制御又は収納カセットの垂直方向の移動量を制御する制御機構と、を具備することを特徴とする搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 41/02
, H01L 21/027
H01L 21/68 A
, B23Q 41/02 Z
, H01L 21/30 502 J
, H01L 21/30 562
