特許
J-GLOBAL ID：200903037030941019
液体吐出用ヘッドおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
宮崎 昭夫
, 伊藤 克博
, 石橋 政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-041311
公開番号（公開出願番号）：特開2005-231115
出願日： 2004年02月18日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：
【課題】 インク等の液体による腐食がなく、液体吐出用素子と吐出口との間の距離を極めて高い精度で短くかつ再現よく設定することが可能で、かつ高品位記録等が可能な液体吐出用ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】 本発明に係る液体吐出用ヘッドの一例であるインクジェット記録ヘッドの製造方法は、電気熱変換素子7が形成されたSi基板1上に、レジスト膜3を用いて流路パターン3aおよび吐出口パターン3bを形成する工程と、少なくともインク流路パターン3aおよび吐出口パターン3bを覆うシード層5,6を形成する工程と、シード層5,6で覆われたインク流路パターン3aおよび吐出口パターン3bを覆うめっき膜であるCu膜10を形成する工程と、Cu膜10の上面を吐出口パターン3bの一部が露出するまで平坦化させる工程と、レジスト膜3を溶出させる工程とを有する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
液体吐出用素子が形成された基板上に、液体流路パターンおよび吐出口パターンを形成する工程と、
少なくとも前記液体流路パターンおよび前記吐出口パターンを覆うシード層を形成する工程と、
前記シード層で覆われた前記液体流路パターンおよび前記吐出口パターンを覆うめっき膜を形成する工程と、
前記めっき膜の上面を前記吐出口パターンの一部が露出するまで平坦化させる工程と、
前記液体流路パターンおよび前記吐出口パターンを溶出させる工程と、
を有する液体吐出用ヘッドの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2C057AF70
, 2C057AG12
, 2C057AG42
, 2C057AP02
, 2C057AP52
, 2C057AP55
, 2C057AP60
, 2C057AP90
, 2C057AQ06
