特許
J-GLOBAL ID：200903037081703171

流体チャンバのアレイを備えるチャック・システム

発明者：
チェララ,アンシュマン

チェララ,アンシュマン について

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チョイ,ビュン-ジン

チョイ,ビュン-ジン について

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ラド,パンカジ・ビイ

ラド,パンカジ・ビイ について

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シャックルトン,スティーブン・シイ

シャックルトン,スティーブン・シイ について


出願人/特許権者：
モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド

モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド について


代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-504203
公開番号（公開出願番号）：特表2009-532899
出願日： 2007年03月26日
公開日（公表日）： 2009年09月10日
要約：
本発明は、基板を保持するためのチャック・システムであって、前記システムは、第1及び第2の対向するサイドを有し、前記第1のサイドは横列と縦列に配置された流体チャンバのアレイを含むチャック本体を含み、前記流体チャンバは、第1及び第2の分離された支持区域を区画する第1及び第2の分離された凹溝を有し、前記第1支持区域は、前記第2支持区域と前記第1及び第2凹溝とを取り囲み、且つ前記第2支持区域は前記第2凹溝を取り囲み、前記基板は前記第1及び第2支持区域に載せられ、前記第1凹溝及びこれと重なる前記基板の一部分が第1チャンバを形成し、且つ前記第2凹溝及びこれと重なる前記基板の一部分が第2チャンバを形成し、前記第1チャンバの各縦列及び前記第2チャンバの各横列は流体の別々のソースと流体連通して前記流体チャンバ内の流体の流れを制御するチャック・システムに関する。
請求項（抜粋）：
基板を保持するためのチャック・システムであって、 第1及び第2の対向するサイドを有し、前記第1のサイドは流体チャンバを含むチャック本体を備え、 前記流体チャンバは、第1及び第2の分離された支持区域を区画する第1及び第2の分離された凹溝を備え、前記第1支持区域が前記第2支持区域と前記第1及び第2凹溝とを取り囲み、且つ前記第2支持区域が前記第2凹溝を取り囲み、前記基板は、前記第1及び第2支持区域に載り、 前記第1凹溝及びこれと重なる前記基板の一部分が第1チャンバを形成し、且つ前記第2凹溝及びこれと重なる前記基板の一部分が第2チャンバを形成し、 前記第1チャンバ及び前記第2チャンバは流体の別々のソースと流体連通して前記流体チャンバ内の流体の流れを制御することを特徴とするチャック・システム。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/027 ,  B29C 59/02
FI (3件)：
H01L21/68 P ,  H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z
Fターム (20件)：
4F209AA44 ,  4F209AC05 ,  4F209AF01 ,  4F209AG03 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AR02 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PN13 ,  4F209PQ11 ,  5F031CA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA08 ,  5F031HA14 ,  5F031MA27 ,  5F046AA28
引用特許：
審査官引用 (3件)

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