特許
J-GLOBAL ID：200903041049384550
基板の形状を調整するチャック・システムと方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-552099
公開番号（公開出願番号）：特表2006-506814
出願日： 2003年11月12日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：
本発明はチャック・システム40及び第1、第2の対向する面26b及び26aを有する基板26の形状を変える方法を対象とする。これは第1の対向する表面の種々の領域間に圧力差を生成して、基板が受ける外力から生じる第2の対向する表面の構造的変形を抑えることによって達成される。その目的のために、チャック・システムは第1、第2の対向する側部を有するチャック・ボディを含む。側面がその間に延在している。第1の側部は第1、第2の離間した支持領域58及び60を含む。第1の支持領域は第2の支持領域ならびに第1、第2の凹部52、54を取り囲んでいる。第2の支持領域は第2の凹部を取り囲み、第2の凹部と重なり合ったボディの一部は所定の波長を有する放射線に対して透過性を有する。第2の側部及び側面が外面を定める。
請求項（抜粋）：
基板を保持するためのチャック・システムであって、
端面が間に広がっている第1、第2の対向する側部を有するチャック・ボディを備え、前記第1の側部は第1、第2の離れた支持領域となる第1、第2の離れた凹部を含んでおり、前記第1の支持領域は前記第2の支持領域及び前記第1、第2の凹部を取り囲み、かつ前記第2の支持領域は前記第2の凹部を取り囲み、前記第2の凹部と重なり合った前記ボディの一部は所定の波長を有する放射線に対して透過性であり、その部分が前記第2の側部から延びて前記第2の凹部に近い所で終端しており、前記第2の側部と前記端面が外面となっており、前記ボディは前記第1、第2の凹部の1つを前記外面の1つと流体的に連通させる、前記ボディを通って延びる貫通路を含んでいるチャック・システム。
IPC (5件)：
H01L 21/683
, B81C 1/00
, B81C 5/00
, B82B 3/00
, H01L 21/027
H01L21/68 P
, B81C1/00
, B81C5/00
, B82B3/00
, H01L21/30 503C
, H01L21/30 502D
5F031CA02
, 5F031HA13
, 5F031MA24
, 5F031MA27
, 5F031MA32
, 5F031PA30
, 5F046AA28
, 5F046CC08
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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