セラミック圧電複合形角速度センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-078713
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278141
出願日： 1995年04月04日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【目的】高感度、高S/Nで、温度ドリフト特性に優れ、衝撃性に強くて、安価なセラミック圧電複合形角速度センサを提供することを目的とする。【構成】セラミック圧電材料から成る4本の平行な振動腕11〜14と音叉支持部15,16を共通とした櫛形状の音叉を一体形成し、駆動、検出振動に有効な部分のみをX方向あるいはZ方向に部分分極し、分極部に相当した部分に駆動電極20,21、検出電極22,23を配設した構成である。

請求項（抜粋）：

平板状のセラミック圧電材料から成る4本の平行な振動腕と音叉支持部を共通とした櫛形状の音叉を一体形成し、三次元座標系のX軸を振動腕及び支持部の幅方向に、Y軸を振動腕の長手方向に、Z軸を音叉全体の厚み方向として、振動腕及び支持部のY軸に沿った一部分を外部印加電圧によりX方向に予め部分分極を行い、外側の2本組を駆動側音叉、内側の2本組を検出側音叉とし、あるいは内側の2本組を駆動側音叉、外側の2本組を検出側音叉とし、櫛形状の音叉の駆動側振動腕及び支持部の一部分の表裏面、側面にはY軸に沿った駆動電極を、検出側振動腕及び支持部の一部分の表裏面にはY軸に沿った2分割の検出電極を部分分極部に対応して配設し、前記駆動側音叉の駆動電極に交流信号を印加して、X方向に互いに逆相の屈曲振動(以下XDモードという)を発生させ、前記検出側音叉に支持部の機械的結合を介して互いに逆相の屈曲振動(以下XSモードという)を誘起させ、外部から印加されるY軸回りの回転角速度に基づくコリオリの力によって発生するZ軸方向の互いに逆相の屈曲振動(以下ZSモードという)によって発生した電荷量を検出側音叉の検出電極により検出するセラミック圧電複合形角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

出願人引用 (6件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-078714 出願人：松下電器産業株式会社
振動型ジャイロスコープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-082579 出願人：富川義朗, アルプス電気株式会社
特開平2-129514

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