特許

J-GLOBAL ID：200903037261132105

表面波装置及び通信機装置

発明者： 門田 道雄 ,  米田 年麿 ,  藤本 耕治
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-134474
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323956
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 膜厚に対して音速の変化が少なく圧電基板上に電極を形成した段階で減衰定数が0に近い表面波装置を提供する。【解決手段】 オイラー角(0°,121°≦θ≦136°,90°±5°)である水晶基板上に、Au,W,Ta,Ag,Mo,Cu,Ni,Cr,Znのうち少なくともひとつを主成分とし、密度が7g/cm3より大きい電極材料でIDTを構成し、SH波を励振させる。

請求項（抜粋）：

オイラー角(0°,θ,90°±5°)においてθが119°≦θ≦136°である水晶基板と、前記水晶基板上に形成され、Ag,Mo,Cu,Ni,Cr,Znのうち少なくともひとつを主成分とし、密度が7g/cm3以上の電極材料で構成されることによりSH波を励振するIDTを備え、前記IDTの膜厚を減衰定数が実質的に0となるように設定したことを特徴とする表面波装置。

IPC (3件)：

H03H 9/25 ,  H03H 9/145 ,  H03H 9/64

FI (3件)：

H03H 9/25 C ,  H03H 9/145 Z ,  H03H 9/64 Z

Fターム (10件)：

5J097AA28 ,  5J097BB02 ,  5J097BB03 ,  5J097CC01 ,  5J097DD01 ,  5J097DD28 ,  5J097FF03 ,  5J097GG02 ,  5J097GG07 ,  5J097KK05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 弾性表面波素子電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-006311   出願人：株式会社日立製作所
• 弾性表面波デバイスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-252289   出願人：株式会社東芝
• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-036001   出願人：株式会社村田製作所