特許
J-GLOBAL ID：200903037269059890
感光膜共重合体、感光膜共重合体の製造方法、感光膜、半導体装置の製造方法及び半導体装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-002535
公開番号（公開出願番号）：特開平10-207058
出願日： 1998年01月08日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 エッチング耐性、耐熱性及び接着性は勿論、形成されたパターンの上側部分が丸くなるのが防止され、鮮明な解像度によるパターンを形成することができる感光膜共重合体、感光膜共重合体の製造方法及びこの感光膜共重合体を含む感光膜を提供する。【解決手段】 少なくとも2種類以上の脂肪族環状オレフィンと、少なくとも1種類のアミンとを共重合させて得られることを特徴とする感光膜共重合体であって、アミンを導入することにより、形成可能なパターンの解像度(resolution)が向上し、鮮明な解像度によるパターンを形成することができる。
請求項（抜粋）：
少なくとも2種類以上の脂肪族環状オレフィンと、少なくとも1種類のアミンとを共重合させて得られることを特徴とする感光膜共重合体。
IPC (5件)：
G03F 7/027
, C08F 2/48
, C08F226/02
, C08F232/00
, H01L 21/027
G03F 7/027
, C08F 2/48
, C08F226/02
, C08F232/00
, H01L 21/30 502 R
