移動物体の位置検出方法およびそれに用いる装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前島肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-083293
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243369
出願日： 1996年03月11日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】簡便な装置により精度よく移動物体の位置を検出する方法およびそれに用いる装置を提供する。【解決手段】 (1)レーザービームをビームスプリッタ2で分岐させ、(2)一方のビームを高速回転するポリゴンミラー3に入射して1次方向のスキャニングビームを形成させ、(3)上記ビームを揺動スキャナミラー4に入射して、1次方向と直交する2次方向にスキャニングさせ、(4)スキャニングビームが移動物体に配設したコーナーキューブプリズム5により反射されて復帰する光をビームスプリッタ2まで戻し、(5)結像光学素子7および光検出素子8により検出し、(6)信号処理回路で解析して上記移動物体の空間的位置座標を計算することからなる移動物体の位置検出方法およびそれに用いる装置。

請求項（抜粋）：

以下の工程(1)から(8)よりなる移動物体の位置検出方法、(1)レーザー光源からのレーザー光をコリメートしたレーザービームをビームスプリッタで2つのビームに分岐させ、(2)上記ビームスプリッタで分岐された2つのレーザービームのいずれか一方を、高速で回転するポリゴンミラーに入射させ、該ポリゴンミラーの各反射面で被位置検出移動物体の縦または横方向(以下「1次方向」という)の位置座標をスキャニングするビームを形成させ、(3)上記ポリゴンミラーから反射された1次方向のスキャニングビームを、揺動スキャナミラーに入射させ、上記1次方向と直交する座標方向(以下「2次方向」という)に反射ビームをスキャニングさせ、(4)上記ポリゴンミラーのスキャニング範囲の一方の端で上記レーザービームを受け、該ポリゴンミラーの反射面ごとに受光信号を座標演算回路に送るポリゴンミラーの基準位置設定用光センサを配置し、(5)上記スキャナミラーの回転軸上にスキャニング駆動用ステッピングモータと、一部に原点設定用の切り欠きを設けた円盤と、該円盤の切り欠きを検出する切り欠き検出センサとを配置し、上記スキャナミラーのスキャニング原点を設定させ、(6)反射ビームを入射ビームと同一の光路に戻すコーナーキューブプリズムをあらかじめ被位置検出移動物体に配設しておき、上記スキャナミラーからのスキャニングビームが上記コーナーキューブプリズムを捕らえたときに、該コーナーキューブプリズムで反射された上記スキャニングビームを、復帰ビームとして同一の光路を経て上記スキャナミラーおよびポリゴンミラーを介してビームスプリッタまで戻し、(7)上記復帰ビームを前記ビームスプリッタで透過または反射させ、必要に応じて迷光排除を目的とした偏光ビームスプリッタを介し、結像光学素子および光検出素子により検出し、(8)上記光検出素子で検出されたレーザービーム信号を信号処理回路で解析することにより、前記被位置検出移動物体の空間的位置座標を計算する。

IPC (5件)：

G01C 15/00 , G01B 11/00 , G01S 7/48 , G01S 17/06 , G05D 1/02

FI (5件)：

G01C 15/00 A , G01B 11/00 A , G01S 7/48 A , G01S 17/06 , G05D 1/02 D

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-155203
特開平4-110706
特開昭62-062204

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