特許
J-GLOBAL ID：200903037360979101
レーザ用曲率可変鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-061484
公開番号（公開出願番号）：特開平11-261139
出願日： 1998年03月12日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 アクチュエータのストロークロスを生じさせず、低荷重で反射鏡の各部を平均的に変形させて高精度の球面を得られるようにしたレーザ用曲率可変鏡を実現することである。【解決手段】 上蓋4に拘束面4aを設け、その拘束面4aで反射鏡1の外周部を受けて反射鏡1の加圧方向への並進運動を阻止する。また、上蓋4との接触部を支点にした反射鏡外周部の回転は隙間6によって許容されるように、さらに反射鏡の厚みを外周側が薄くなるように径方向に変化させて反射鏡1の変形がスムーズに、しかも各部で平均的に起こるようにした。
請求項（抜粋）：
板状の反射鏡と、その反射鏡の外周部を支えるリング状の支持具と、反射鏡の裏面中央領域に制御された圧力を加える加圧機構を有し、加圧機構による加圧で反射鏡を所望曲率の球状反射面が得られるように変形させるレーザ用曲率可変鏡において、前記支持具に、反射鏡に接して加圧方向への反射鏡の並進運動を阻止する拘束面を設け、その支持具と反射鏡との間に支持具との接触部を支点にした反射鏡外周部の回転を許容する隙間を設け、さらに、反射鏡の厚みを、裏面側において中央領域が厚く、外周側が薄くなるように径方向に連続的に変化させたことを特徴とするレーザ用曲率可変鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/08 Z
, G02B 5/10 B
