特許
J-GLOBAL ID：200903037411826380
気化器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-001331
公開番号（公開出願番号）：特開2004-211183
出願日： 2003年01月07日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】液体有機金属や有機金属溶液等の液体材料を気化する気化器において、フィルタ目詰まりを軽減することができる気化器の提供。【解決手段】液体材料は、気化ノズル部20によって霧状液体材料26に霧化され、高温の気化チャンバ内壁38により気化される。これによって生成された材料ガスはチャンバ本体31の排出口34からCVD装置1側へと排出されるが、気化されなかった霧状液体材料26a,26bや液体材料が固化して生成されたパーティクル27等は、気化フィルタ35によって捕捉される。気化フィルタ35はヒータ39によって加熱されているため、捕捉された霧状液体材料26a,26bは気化される。その結果、パーティクルの発生量を低減することができ、気化フィルタ35や、気化フィルタ35よりも下流に設けられるフィルタの目詰まりを軽減することができる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
高温に保持された気化チャンバ内へ液体有機金属若しくは有機金属溶液から成る液体材料を噴霧し、噴霧された前記液体材料が気化して生じた材料ガスをCVD成膜装置に供給する気化器において、
前記気化チャンバの材料ガス排出口を覆うように設けられて、前記液体材料の未気化残留体を捕捉し、かつ、未気化噴霧粒子を気化するフィルタと、
前記フィルタを加熱する加熱手段とを設けたことを特徴とする気化器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
4K030AA11
, 4K030BA01
, 4K030BA18
, 4K030EA01
, 4K030FA10
, 4K030KA45
, 4K030LA15
, 5F045AA04
, 5F045AC07
, 5F045EE02
, 5F045EE10
