特許
J-GLOBAL ID:200903037413580664

無蒸発ゲッタ合金

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石田 敬 (外3名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-500780
公開番号(公開出願番号):特表2003-535218
出願日: 2001年05月28日
公開日(公表日): 2003年11月25日
要約:
【要約】ジルコニウムと、バナジウムと、鉄と、マンガンと、イットリウムとランタンと希土類元素との中から選択された1種またはそれ以上の元素と、を含む無蒸発ゲッタ合金が記載され、この合金は、既知のゲッタ合金に比較して、特に窒素に対して改良されたガス吸着特性を有する。
請求項(抜粋):
窒素に対して特に高ガス吸着効率を備える無蒸発ゲッタ合金であって、 ジルコニウムと、バナジウムと、鉄と、マンガンと、イットリウムとランタンと希土類元素との中から選択された少なく1種の元素とを含み、 次の範囲内で変化しうる元素組成wt%で、 60〜85%のジルコニウム 2〜20%のバナジウム 0.5〜10%の鉄 2.5〜30%のマンガン、及び 1〜6%のイットリウム、ランタン、希土類元素またはそれらの混合物、を含む無蒸発ゲッタ合金。
IPC (2件):
C22C 16/00 ,  H01J 7/18
FI (2件):
C22C 16/00 ,  H01J 7/18
Fターム (2件):
5C235JJ10 ,  5C235JJ11
引用特許:
審査官引用 (7件)
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