特許
J-GLOBAL ID：200903037440727693
圧力波発生装置及び圧力波発生装置の駆動方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-264334
公開番号（公開出願番号）：特開2007-075686
出願日： 2005年09月12日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
【課題】 耐久性の高い高品質の圧力波発生装置及び圧力波発生装置の駆動方法を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明に係る圧力波発生装置は、圧力波を発生させる圧力波発生装置1であって、シリコン基板11と、当該シリコン基板11上に配設された熱絶縁層13と、当該熱絶縁層13上に形成された発熱体薄膜14と、当該発熱体薄膜14に接続され、発熱体薄膜14に駆動電流を供給する駆動部17とを備え、駆動電流は、振幅やパルスの間隔、あるいはパルス幅が変調されたパルス列から構成されたものである。そして、本発明に係る圧力波発生装置は、当該変調されたパルス列に応じた圧力波を発生させて出力する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧力波を発生させる圧力波発生装置であって、
基板と、
当該基板上に配設された熱絶縁層と、
当該熱絶縁層上に配設された発熱電極と、
当該発熱電極に接続され、変調されたパルス列から構成された駆動電流を生成する駆動部とを備えた圧力波発生装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5D107AA09
, 5D107CC20
, 5D107CD01
出願人引用 (1件)
-
圧力波発生装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-113369
出願人：科学技術振興事業団
審査官引用 (7件)
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