特許
J-GLOBAL ID：200903037443127115

液体の形状を使用して基板の特性を求める方法及びシステム

発明者：
チョイ,ビュン-ジン

チョイ,ビュン-ジン について

, 
スリニーヴァッサン,シトルガタ・ヴイ

スリニーヴァッサン,シトルガタ・ヴイ について


出願人/特許権者：
モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド

モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド について


代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-560779
公開番号（公開出願番号）：特表2006-514428
出願日： 2003年12月12日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：
本発明は、汚染物の存在、形状、間隔を開けた基板間の空間的関係などの、基板の特性を求めるための技術を提供する。この空間的関係は、第1及び第2の間隔を開けた基板間の距離と角度の向きを含む。この技術は、第2の基板上に、ある液体のボリュームであって、そのボリュームと関連するある面積を有する液体を形成することを含む。この液体のボリュームは、第1及び第2の基板間で圧縮されその面積の性状に変化を引き起こし、変化した性状を決める。変化した性状が検知され、第1及び第2の基板の特性は、この変化した性状の関数として求められる。
請求項（抜粋）：
液体のボリュームであって、前記ボリュームと関連する面積を有する液体の前記ボリュームを第2の基板上に形成する段階と、 液体の前記ボリュームを前記第1と第2の基板間で圧縮し、前記面積の性状に変化を引き起こさせ、変化した性状の意味を明らかにする段階と、 前記変化した性状を検知する段階と、 前記変化した性状の関数として前記第1と第2の基板の特性を求め、測定された特性の意味を明らかにする段階とを含む、第1と第2の基板の特性を求める方法。
IPC (5件)：
H01L 21/027 ,  B81C 1/00 ,  B81C 5/00 ,  G01B 11/14 ,  G03F 7/20
FI (7件)：
H01L21/30 502D ,  B81C1/00 ,  B81C5/00 ,  H01L21/30 563 ,  G01B11/14 H ,  G01B11/14 G ,  G03F7/20 501
Fターム (14件)：
2F065AA22 ,  2F065AA58 ,  2F065FF41 ,  2F065FF51 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ26 ,  2H097AA20 ,  2H097CA17 ,  2H097LA10 ,  5F046AA28 ,  5F046HA07
引用特許：
審査官引用 (3件)

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