特許

J-GLOBAL ID：200903037501763086

単結晶シリコントランジスタ素子を有する液晶表示装置およびその製造方法

発明者： 岩城 忠雄
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-187215
公開番号（公開出願番号）：特開2003-005212
出願日： 2001年06月20日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 低コストで製造できる液晶表示装置およびその製造方法を提供。【解決する手段】 ガラス基板1a上に、ゴム系高分子薄膜7を形成した後、単結晶シリコントランジスタ素子5の配列部を開口させた高分子厚膜6を印刷形成する。単結晶シリコントランジスタ素子5は、液晶駆動用のトランジスタ回路を形成した後、異方性エッチングによって液体中に分離作製し、液体中配列法で高分子厚膜6に形成した穴に配列させ、平滑化剤を形成して段差や隙間を埋める。次に、この平滑化層8にスルーホール9a、9bを形成した後、その上に金属薄膜を形成し、フォトプロセスを用いてゲート電極とソース電極及び画素電極2aを形成する。一方、ガラス基板1bの上には透明電極2bカラーフィルタ13を、画素電極2aに対応して形成する。そしてガラス基板1aの膜面上に、シール12を印刷し、加熱しながら紫外線照射を行って接合する。

請求項（抜粋）：

対向する一対のガラス基板の両対向面上に少なくとも電極と液晶配向膜とが順次形成され、前記対向ガラス基板の対向面の距離を一定に制御するためのスペーサと液晶を外界から封入するための液晶シールとにより所定の液晶材料からなる液晶層が前記一対の対向ガラス基板によって狭持封入されてなる液晶表示装置において、前記一対のガラス基板のうち、少なくとも一方の対向面上に形成されている電極は透明電極であり、前記ガラス基板の外部面上には少なくとも偏光板が配置されており、前記一対の他方のガラス基板の対向面上で前記ガラス基板に接する面上に高分子厚膜層が形成され、前記高分子厚膜層と同等の厚みを有し二回対称に複数のトランジスタが形成された複数の単結晶シリコントランジスタ素子が行列状に配列され、その上に前記複数の単結晶シリコントランジスタ素子および前記高分子厚膜層の表面を平滑化するための平滑化層が形成され、さらにその上に前記単結晶トランジスタ素子に電力および画像信号を供給するための金属電極線が行列状に形成されており、また前記基板面上に形成された前記電極は行列上に分離形成された金属電極であり、前記前記単結晶トランジスタ素子上に形成された少なくとも一つの所定のトランジスタは前記画像信号に応じて前記行列上に分離形成された金属電極に前記液晶層を駆動するための電圧を供給するために当該金属電極と電気的に結合されていることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (7件)：

G02F 1/1368 ,  G02F 1/1333 505 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/35 ,  H01L 21/336 ,  H01L 27/12 ,  H01L 29/786

FI (7件)：

G02F 1/1368 ,  G02F 1/1333 505 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/35 ,  H01L 27/12 B ,  H01L 29/78 627 D ,  H01L 29/78 618 C

Fターム (74件)：

2H090HA02 ,  2H090HA07 ,  2H090HC06 ,  2H090HC08 ,  2H090HC10 ,  2H090HC17 ,  2H090HD01 ,  2H090HD03 ,  2H090LA01 ,  2H090LA02 ,  2H090LA03 ,  2H090LA04 ,  2H090LA09 ,  2H090LA15 ,  2H090MB01 ,  2H092GA17 ,  2H092JA23 ,  2H092JA27 ,  2H092JB58 ,  2H092KA03 ,  2H092KA06 ,  2H092KB21 ,  2H092KB22 ,  2H092MA01 ,  2H092MA12 ,  2H092MA37 ,  2H092NA21 ,  2H092NA27 ,  2H092PA01 ,  2H092PA02 ,  2H092PA03 ,  2H092PA04 ,  2H092PA08 ,  2H092PA11 ,  2H092QA07 ,  2H092QA08 ,  2H092QA13 ,  5C094AA08 ,  5C094AA13 ,  5C094AA25 ,  5C094AA43 ,  5C094AA48 ,  5C094AA53 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA12 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5C094EC03 ,  5C094ED03 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB01 ,  5C094FB02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5F110AA01 ,  5F110BB01 ,  5F110DD02 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110GG22 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ16 ,  5F110QQ19

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 液晶表示素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-144352   出願人：ローム株式会社
• セルフアセンブル型微細構造の組み付け方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平7-516846   出願人：ザリージェンツオブザユニバーシティオブカリフォルニア