特許
J-GLOBAL ID：200903037503207474
速度測定装置およびその製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-298619
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133042
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】小型で慣性が小さく、振動の影響も受けにくく、個別部品の組み立て、調整の工程を削除し、量産を可能にして、また、低コスト化、高信頼性化を実現した速度測定装置およびその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】発光素子1と、受光素子2111と、下部クラッド層、コア層、上部クラッド層の三層からなる膜状の光導波路31、32、33と、外部の物体7へ出射する光の広がり角を定める光導波路凸状部311、321と、物体7に向かって光を出射し、その散乱光、干渉光を受光素子2111に入射させる集光手段41、42、43とを半導体基板5555上に形成する。
請求項（抜粋）：
発光素子と、少なくとも一つ以上の受光素子と、下部クラッド層、コア層、上部クラッド層の三層からなる膜状の光導波路と、上記発光素子から上記光導波路を介して導かれた光を外部の対象物体に向かって出射し、上記対象物体からの散乱光、干渉光を上記受光素子に入射させる集光手段とを半導体基板上に形成することを特徴とする速度測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
