特許
J-GLOBAL ID：200903037578902674
非接触電気測定用センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 孝雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-351773
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178823
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 ガードリング電極の機能を向上させた非接触電気測定用センサを提供する。【解決手段】 非接触電気測定用センサは、略平坦な表面を有する透光性部材と、前記透光性部材の前記表面上に形成された測定電極と、前記測定電極と外部の測定器とを接続するために、前記透光性部材の前記表面上に形成された測定電極用配線と、前記測定電極用配線の少なくとも一部と前記測定電極とを覆うように形成された第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜の上に形成され、前記測定電極の周囲のすべてを取り囲む形状に形成されたガードリング電極と、を備えることを特徴とする。測定電極用配線は、透光性部材の第1の表面から第2の表面まで貫通するように形成してもよい。
請求項（抜粋）：
半導体の電気特性の測定を行なう非接触電気測定用センサであって、測定電極と、前記測定電極と外部の測定器とを接続するための測定電極用配線と、前記測定電極を覆うように形成された第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜の上に形成され、前記測定電極の周囲のすべてを取り囲む形状に形成されたガードリング電極と、を備えることを特徴とする非接触電気測定用センサ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01R 31/28 L
, H01L 21/66 L
, H01L 21/66 C
