特許
J-GLOBAL ID：200903037611513255
レンズアレイの検査装置およびレンズの検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-318540
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131177
出願日： 2000年10月18日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：
【要約】【課題】 光軸位置がレンズの幾何学的な中心からずれている偏心レンズを有するレンズアレイの検査を行うことが可能なレンズアレイの検査装置の提供。【解決手段】 複数のレンズをマトリックス状に配列して構成される第1レンズアレイ113の光学特性を検査する第1レンズアレイ113の検査装置2において、CCDカメラ291を、マルチステージ293によって、第1レンズアレイ113における小レンズ11A、11BのX軸、Y軸、Z軸方向、および測定対象となるレンズの曲率方向に沿って移動可能に構成する。測定対象となる小レンズが、小(偏心)レンズであっても、CCDカメラ291を小レンズの曲率方向に沿って移動させることで、検査用基準パターン画像を検出することを容易にできる。これにより、光軸位置が小レンズの幾何学的な中心からずれている小レンズを含む第1レンズアレイの検査を容易にできる。
請求項（抜粋）：
複数のレンズをマトリックス状に配列して構成されるレンズアレイの光学特性を検査するレンズアレイの検査装置であって、前記レンズアレイが取り付けられ、前記複数のレンズの配列方向に沿って移動可能なワークホルダと、このワークホルダ上のレンズアレイに向けて光束を出射する光源と、前記ワークホルダとこの光源との間に設置され、前記光源からの光束に基づいて、検査用基準パターン画像を形成する基準パターン形成部と、を備えた第1の光源部と、前記ワークホルダに取り付けられたレンズアレイの複数のレンズのうち、測定対象となるレンズに、この基準パターン形成部を介した光束を選択的に導入する開口部が形成された測定対象選択部と、この測定対象選択部で選択されたレンズを経た検査用基準パターン画像を検出する画像検出部と、この画像検出部で検出された検出結果を演算処理する演算処理部とを備え、前記画像検出部は、前記レンズアレイにおけるレンズの配列方向、法線方向、および測定対象となるレンズの曲率方向に沿って移動可能に構成されていることを特徴とするレンズアレイの検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/00 L
, G02B 3/00 A
