特許
J-GLOBAL ID：200903037645550168
アクティブマトリクス基板の検査方法及び検査装置並びにそれに用いる検査用プログラム及び情報記録媒体
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
井上 一
, 布施 行夫
, 大渕 美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-430804
公開番号（公開出願番号）：特開2004-221072
出願日： 2003年12月25日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：
【課題】 アクティブマトリクス基板の段階で、点欠陥、線欠陥または輝度不良を検査することができるアクティブマトリクス基板の検査方法を提供すること。【解決手段】 検査対象は、複数の信号線14、複数の走査線10及び複数の電圧供給線16の各1本にそれぞれ接続された複数の画素20を有し、複数の画素20の各々は、信号線及び走査線に接続された画素選択トランジスタQ1と、動作トランジスタQ2とを含み、動作トランジスタQ2は、ゲートG2が画素選択トランジスタQ1に接続され、ドレインD2に電圧供給線が接続され、ソースS2がオープン状態であるアクティブマトリクス基板である。この検査方法は、検査装置より電位を供給して、動作トランジスタQ2のゲート-ドレイン間の寄生容量Cdgoを充電し、寄生容量Cdgoに蓄えられた電荷を放電させて、その寄生容量Cdgoに基づく放電電流を検査装置にて計測し、その放電電流値に基づいて、複数の画素20の欠陥を検査装置にて判定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の信号線、複数の走査線及び複数の電圧供給線の各1本にそれぞれ接続された複数の画素を有し、前記複数の画素の各々は、前記信号線及び前記走査線に接続された画素選択トランジスタと、動作トランジスタとを含み、前記動作トランジスタは、ゲートが前記画素選択トランジスタに接続され、ソース及びドレインの一方に前記電圧供給線が接続され、他方がオープン状態であるアクティブマトリクス基板を用意する第1工程と、
検査装置より電位を供給して、前記動作トランジスタのゲート-電圧供給線間の寄生容量を充電する第2工程と、
前記寄生容量に蓄えられた電荷を放電させて、前記寄生容量に基づく放電電流を前記検査装置にて計測する第3工程と、
前記放電電流値に基づいて、前記複数の画素の欠陥を前記検査装置にて判定する第4工程と、
を有し、
前記動作トランジスタのゲート-電圧供給線間の寄生容量の容量値は、印加電圧に依存して、高飽和域と、低飽和域と、前記高飽和域及び低飽和域間で容量値が変化する移行域とを有し、
前記第2工程及び前記第3工程の少なくとも一方では、前記動作トランジスタのゲート-電圧供給線間の寄生容量の容量値が前記高飽和域となる電圧を、前記動作トランジスタのゲート-電圧供給線間に印加することを特徴とするアクティブマトリクス基板の検査方法。
IPC (7件)：
H05B33/14
, G01R31/00
, G09F9/00
, G09F9/30
, G09G3/20
, G09G3/30
, H05B33/12
H05B33/14 A
, G01R31/00
, G09F9/00 352
, G09F9/30 338
, G09G3/20 612E
, G09G3/20 624B
, G09G3/20 670Q
, G09G3/30
, H05B33/12 Z
2G036AA19
, 2G036AA25
, 2G036AA27
, 2G036BA32
, 2G036BB12
, 2G036CA10
, 3K007AB02
, 3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007DB03
, 3K007GA00
, 5C080AA06
, 5C080BB05
, 5C080DD15
, 5C080DD28
, 5C080FF11
, 5C080GG12
, 5C080JJ01
, 5C080JJ02
, 5C080JJ03
, 5C080JJ04
, 5C080JJ05
, 5C094AA41
, 5C094AA42
, 5C094AA43
, 5C094BA03
, 5C094BA29
, 5C094CA19
, 5C094GB10
, 5G435AA17
, 5G435AA19
, 5G435BB05
, 5G435KK05
, 5G435KK10
