特許

J-GLOBAL ID：200903060698057430

ELアレイ基板の検査方法及びその検査装置

発明者： 田口 知幸 ,  大田 淳登
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
代理人 (1件)： 坂口 博 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-095324
公開番号（公開出願番号）：特開2003-295790
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【課題】 ELアレイ基板上の不良をELパネルの組み立て前に検出することが可能なELアレイ基板の検査方法を提供する。【解決手段】 所定電位をデータ線6に与え、スイッチングトランジスタ4を所定時間だけオンにすることにより、保持キャパシタ3及び寄生キャパシタ8を充電する。スイッチングトランジスタ4をオフにしてから所定時間経過後にスイッチングトランジスタ4を再びオンにし、データ線6を積分器10に接続することにより、保持キャパシタ3及び寄生キャパシタ8を放電し、積分器10により放電した電荷量を検出する。この電荷量に基づいて、ELアレイ基板上の不良をELパネルの組み立て前に検出する。

請求項（抜粋）：

EL素子の一方の電極に接続されるドレインを有するドライブトランジスタと、前記ドライブトランジスタのゲートに接続される保持キャパシタと、前記EL素子の一方の電極と前記ドライブトランジスタのゲートとの間に形成される寄生キャパシタと、前記ドライブトランジスタのゲートに接続されるドレインを有するスイッチングトランジスタとを備えるELアレイ基板の検査方法であって、所定電位を前記スイッチングトランジスタのドレインに与え、かつ前記スイッチングトランジスタを所定の書込時間オンにする書込ステップと、前記スイッチングトランジスタをオフにしてから所定時間経過後に前記スイッチングトランジスタを再びオンにし、かつ前記スイッチングトランジスタのドレインを電荷量測定器に接続する読出ステップと、前記電荷量測定器の出力に基づいて前記ELアレイ基板上の不良を検出する検出ステップとを含むことを特徴とするELアレイ基板の検査方法。

IPC (3件)：

G09F 9/00 352 ,  G09F 9/30 365 ,  H05B 33/14

FI (3件)：

G09F 9/00 352 ,  G09F 9/30 365 Z ,  H05B 33/14 A

Fターム (18件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  5C094AA42 ,  5C094AA44 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094CA19 ,  5C094GB10 ,  5C094HA08 ,  5C094JA02 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435CC09 ,  5G435HH13 ,  5G435KK05 ,  5G435LL06 ,  5G435LL07 ,  5G435LL08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• EL表示装置およびその検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-140333   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
• 表示装置基板および表示装置製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-027125   出願人：株式会社東芝