電子放出素子

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-163973
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031305
出願日： 1994年07月15日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】多数設けたエミッタの1つが蒸発しても他のエミッタの電子放出を継続させる。【構成】ベース電極1とゲート電極3との間にアルミナよりなる非良導体層8と絶縁層5を介装する。ゲート電極3と絶縁層5とからなるゲート層4には、非良導体層8の表面に至る多数の凹所6を形成し、凹所6の底面にはエミッタ7を設ける。ベース電極1とゲート電極3との間に電圧を印加してエミッタ7から電界放射によって電子を放出させる。エミッタ7が蒸発した場合でも、ベース電極1とゲート電極3との間には非良導体層8が介在するから、ベース電極1とゲート電極3とが蒸発物質によって短絡することがない。

請求項（抜粋）：

ベース電極を有するベース層に絶縁層を介してゲート電極を積層し、ゲート電極と絶縁層とでなるゲート層に多数形成した各凹所内でベース層におけるゲート層側の一面に先端部がゲート電極と小さい空隙を介して対向するエミッタをそれぞれ突設し、ベース電極とゲート電極との間に電圧を印加することにより、ゲート電極とエミッタとの間に形成される強電界によりエミッタから電子を電界放出させるようにした電子放出素子であって、ベース層におけるゲート層側の一面を非良導体で形成したことを特徴とする電子放出素子。

引用特許：

審査官引用 (4件)

電界放出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-276233 出願人：双葉電子工業株式会社
電界放出素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-270580 出願人：双葉電子工業株式会社
特開平4-229922

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