特許
J-GLOBAL ID:200903037672883454
転写用型およびその製造方法ならびに転写用型を用いた転写物の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
杉村 興作
, 藤谷 史朗
, 来間 清志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-199900
公開番号(公開出願番号):特開2009-233855
出願日: 2006年07月21日
公開日(公表日): 2009年10月15日
要約:
【課題】簡便かつ安価に光透過性及び耐破壊性に優れた転写用型、特にナノインプリントに適する転写用型等を提供する。【解決手段】本発明の転写用型は、透光材料からなる第1基材と、該第1基材上にゾルゲル法により形成され、前記第1基材よりも低屈折率の透光材料からなり所定の微細凹凸形状が付与された型面をもつ第1表面被覆層との複層構造を有する。また、本発明の転写用型の製造方法は、透光材料からなる第1基材上に所定のゾル液を塗布する工程と、原型を押し当てた状態で加熱、保持してゲル層を硬化させて所定の微細凹凸形状が付与された型面を持つ第1表面被覆層を形成する工程を有する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
透光材料からなる第1基材と、該第1基材上にゾルゲル法により形成され、前記第1基材よりも低屈折率の透光材料からなり所定の微細凹凸形状が付与された型面をもつ第1表面被覆層との複層構造を有することを特徴とする転写用型。
IPC (6件):
B29C 59/02
, B05D 5/06
, B05D 7/24
, B29C 39/26
, B29C 33/38
, B29C 33/42
FI (6件):
B29C59/02 B
, B05D5/06 104J
, B05D7/24 302Y
, B29C39/26
, B29C33/38
, B29C33/42
Fターム (35件):
4D075BB05Z
, 4D075BB26Z
, 4D075CB21
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DB54
, 4D075DC18
, 4D075DC21
, 4D075EA06
, 4D075EA12
, 4D075EB43
, 4D075EB47
, 4F202AA44
, 4F202AF01
, 4F202AG05
, 4F202AG28
, 4F202AH36
, 4F202AH73
, 4F202AJ06
, 4F202AJ09
, 4F202AJ11
, 4F202CA01
, 4F202CA09
, 4F202CA30
, 4F202CB01
, 4F202CB29
, 4F202CD05
, 4F202CD23
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AJ06
, 4F209AJ08
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PQ11
引用特許:
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