特許

J-GLOBAL ID：200903037709553077

研磨装置用ヘッド

発明者： 三嶋 和彦 ,  森岡 裕之
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-277111
公開番号（公開出願番号）：特開2001-096458
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
要約：

【要約】【課題】研磨加工中にウエハを破損させることが殆どなく、耐摩耗性に優れ、長期間にわたって所定の研磨精度を得ることができる研磨装置用ヘッドを提供する。【解決手段】ウエハWの吸着機構を備えた押圧部材42の外周に、押圧部材42のウエハ保持面43より突出するように、内壁面にショア硬さ80以下である樹脂膜を0.5〜5.0mmの厚みで被着したセラミックス製保持リング1を設けて研磨装置用ヘッドを形成する。

請求項（抜粋）：

ウエハの吸着機構を備えた押圧部材の外周に、前記押圧部材のウエハ保持面より突出するように設けられた保持リングを具備して成る研磨装置用へッドにおいて、前記保持リングをセラミックスにより形成するとともに、その内壁面にショア硬さ80以下の樹脂膜を0.5〜5.0mmの厚みに被着させたことを特徴とする研磨装置用ヘッド。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 622 G

Fターム (8件)：

3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CA04 ,  3C058CA05 ,  3C058CA06 ,  3C058CB02 ,  3C058CB10 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 研磨装置のヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-058404   出願人：スピードファム株式会社
• ポリッシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-105254   出願人：株式会社荏原製作所
• 特開平4-026117