粘性流体塗布装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石原勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-132927
公開番号（公開出願番号）：特開平9-314015
出願日： 1996年05月28日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：

【要約】【課題】粘性流体塗布装置塗布工程において、塗布能率を向上させると共に、ディスペンサの上下動作に起因した塗布不良の発生率を低減させることを目的とする。【解決手段】基板に対して上下動可能な粘性流体塗布用ディスペンサ12を有し、ディスペンサ12の上下方向の動作をカム9の回転によって行う粘性流体塗布装置において、カム9の回転方向を1回転以内の任意の角度範囲で交互に切り換えて、ディスペンサ12を上下方向に往復運動させるように構成した。

請求項（抜粋）：

基板に対して上下動可能な粘性流体塗布用ディスペンサを有し、ディスペンサの上下方向の動作をカムの回転によって行う粘性流体塗布装置において、カムの回転方向を1回転以内の任意の角度範囲で交互に切り換えて、ディスペンサを上下方向に往復運動させるように構成したことを特徴とする粘性流体塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 5/00 101 , H05K 3/34 504 , H05K 13/08

FI (3件)：

B05C 5/00 101 , H05K 3/34 504 C , H05K 13/08

引用特許：

審査官引用 (6件)

ノズルの移動機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-173789 出願人：オリジン電気株式会社
特開昭62-111496
特開昭62-111496

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