特許
J-GLOBAL ID:200903037821626435
製版用露光装置及び露光方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大沼 浩司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-068573
公開番号(公開出願番号):特開2001-109163
出願日: 2000年03月13日
公開日(公表日): 2001年04月20日
要約:
【要約】【目的】 多数の半導体レーザを用いて多数本のレーザ光を一列に次々にずれて重ねることができ該レーザ光の配列方向と直交方向に照射移動して多数本レーザビーム露光ができ、露光作業にかかる時間を大幅に短縮できる半導体レーザ露光装置。【構成】 半導体レーザ2,2,・・放射するレーザ光を光ファイバー3,3,・・に導入して光軸間隔を平行に近接させ、第一の集光レンズ4においてオーバーラップ配列とし、第二の集光レンズ5とオートフォーカスレンズ6でオーバーラップ配列のまま絞りこんで被製版ロールWに照射する。光ファイバー3を数組に分けて各組の光ファイバーの前記先端面の配列を所要角度の斜め配列とし、かつ、被製版ロールの移動方向に対して直角方向に投影したときに連鎖状の配列とし、各半導体レーザ2をそれぞれ対応する光ファイバーの先端面の配列位置に対応して必要な遅延を図りつつ画像データに対応したレーザ光の点滅発振を行なう。
請求項(抜粋):
被製版ロールを支持して回転する手段と、被製版ロールに対して所要位置まで接近し付いて面長方向に移動する走査テーブルと、走査テーブルに設置された被製版ロールにコートされた感光膜又は黒色膜にレーザ光を画像データに対応して点滅照射して潜像するか又はアブレーションする露光装置とからなり、露光装置は、走査テーブルに並設する所要数の半導体レーザと、各半導体レーザから放射するレーザ光をそれぞれ所定位置に導く光ファイバーと、光ファイバーの先端面から放射するレーザ光の光径を縮小する一つ又は複数の光径縮小レンズと、被製版ロールの被製版面との距離が焦点距離となるように位置され光径縮小レンズで縮径されたレーザ光を被製版ロールの被製版面へ照射するオートフォーカスレンズとを含み、前記光ファイバーを数組に分けて各組の光ファイバーの前記先端面の配列を所要角度の斜め配列とし、かつ、被製版ロールの移動方向に対して直角方向に投影したときに連鎖状の配列とし、各半導体レーザをそれぞれ対応する光ファイバーの先端面の配列位置に対応して必要な遅延を図りつつ画像データに対応したレーザ光の点滅発振を行なうようになっていることを特徴とする製版用露光装置。
IPC (7件):
G03F 7/20 511
, G03F 7/20 505
, B41C 1/055
, B41J 2/44
, B41J 2/45
, B41J 2/455
, H01S 5/40
FI (5件):
G03F 7/20 511
, G03F 7/20 505
, B41C 1/055
, H01S 5/40
, B41J 3/21 L
Fターム (28件):
2C162AE04
, 2C162AE23
, 2C162AE28
, 2C162AE48
, 2C162AE52
, 2C162AF07
, 2C162FA04
, 2C162FA18
, 2C162FA44
, 2C162FA48
, 2C162FA67
, 2H084AA14
, 2H084AA26
, 2H084AA30
, 2H084AE05
, 2H084BB16
, 2H084CC01
, 2H084CC03
, 2H097AA03
, 2H097AB08
, 2H097CA03
, 2H097CA17
, 2H097GB04
, 2H097LA03
, 5F073AB04
, 5F073AB27
, 5F073AB28
, 5F073BA09
引用特許:
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